北航合肥创新研究院量子点应用技术开发研究中心真空镀膜机采购公告

北航合肥创新研究院量子点应用技术开发研究中心真空镀膜机采购公告 根据采购需求，对下述内容进行采购，现邀请合格的供应商前来响应。一、项目名称：真空镀膜机二、项目编号：240111lzd01三、采购预算：290000元四、项目用途：科研五、采购方式：综合比价六、项目基本概况介绍：序号名称参数要求数量单位1真空镀膜机1. 真空抽气测量系统：包含高真空气动挡板阀、电动充气阀、复合数字真空计（测量范围大气至≥1×10-5Pa）等，适配分子泵（抽气速率≥1300L/s）、干泵（抽气速率≥500L/min）。2. 真空室：方形腔体，全部采用SUS304不锈钢制成，长×宽×高尺寸≥500mm×500mm×600mm；配备可替换防污板。3. 真空室包含两个可完全打开的门，前门为快开门，配有带挡板的观察窗；后门为推拉门，可与手套箱连接；真空室与手套箱连接可依手套箱预留尺寸定制；观察窗和挡板为非固定式，可更换。4. 腔体极限真空度为≤3×10-5Pa，在氮气环境下开门重新抽真空可在15分钟内达到≤2×10-4Pa。5. 基片装置：旋转基片架，基片最大尺寸为(长×宽)156mm×156mm（可向下兼容）。6. 蒸镀均匀度优于±1%（以铝为标准，厚度为 30？）。7. 蒸发源：不少于6个，采用水冷电极，蒸发舟尺寸80-90mm，配备独立防污罩。8. 束源炉式有机蒸发源不少于2个，控制电源不少于1套，控温表控温，温度上限≥800°C，控温精度±1°C。9. 电极式金属蒸发源不少于4个，控制电源不少于2套，电源功率≥2kw，最大电流≥80A，控制电流精度±0.5A。10. 水冷探头数量不少于3个。11. 包含独立控制系统软件，用于执行设备的所有操作包括：机械泵、分子泵、阀门开关；基片台旋转；基片总挡板开关；蒸发源挡板的开关；有机蒸发源和金属蒸发源的蒸镀控制和速率控制等。12. 控制系统程序可编辑，实现依设定程序的自动蒸镀。13. 一体式设备，占地面积长×宽×高≤1200mm×850mm×1800mm。1套七、供应商资格要求：1.响应供应商必须是具有独立承担民事责任能力的中华人民共和国境内注册的法人；2.响应供应商参加本次采购活动应具备下列条件：（1）具有独立承担民事责任的能力；（2）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；（3）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；（4）具有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；（5）参加本次遴选活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；（6）本项目不接受联合体；（7）法律、行政法规规定的其他条件。一旦发现供应商资质不符合要求，将取消竞选资格。八、响应文件及需提交的材料：1.营业执照、法定代表人身份证复印件、授权委托书及被授权人身份证复印件及其他资质材料，不提供视为响应无效；2.公司简介（须包含销售业绩、销售案例等情况），不提供销售业绩及销售合同视为响应无效；3.报价单（税后价格），按照报价单模板进行报价（见附件2），不按照要求提供的视为响应无效；4.提供售后服务承诺书，不提供视为响应无效；5.无不良信用记录承诺书并加盖公章，一旦发现其承诺有假，立即取消其竞选资格，不提供视为响应无效。6.其他相关材料。九、响应文件递交事项：1.响应文件响应文件正本一份，副本三份，装订成册，版面为A4大小，编制目录，所有材料每页必须加盖单位公章；统一密封，并在包装袋封面注明项目名称、项目编号、供应商名称、联系人及电话，加盖公章。响应供应商必须保证提供的所有响应文件内容属实，一旦发现造假行为，将取消竞选资格。2.报名方式：采取电话报名和发送电子版响应函（见附件1）相结合的方式（即响应供应商在电话报名的同时，将响应函发送至邮箱bhhfcg@buaa.edu.cn），响应函文件命名方式为“采购项目名称+单位名称+联系人+联系方式”，邮件命名方式为“项目编号+单位名称”。3.报名截止时间：2024年1月15日17:00（北京时间），超过此时间报名的，视为放弃本次竞选。4.响应文件提交地址：报名供应商请于2024年1月18日前寄至安徽省合肥市新站高新区魏武路与少荃北路交口北航合肥创新研究院D栋1009室。5.综合比价时间：另行通知。6.本采购公告期限：自本公告发布之日起3个日历日。报名电话：15056036592 唐老师采购项目咨询：13932395563 王老师北航合肥创新研究院量子点应用技术开发研究中心2024年1月11日 附件【附件2：报价单.docx】已下载次附件【附件1：响应函.docx】已下载次报价单序号项目名称品牌、规格型号技术参数要求供应商响应技术参数数量单位单价（元）偏离情况(完成响应/正偏离)1真空镀膜机1. 真空抽气测量系统：包含高真空气动挡板阀、电动充气阀、复合数字真空计（测量范围大气至≥1×10-5Pa）等，适配分子泵（抽气速率≥1300L/s）、干泵（抽气速率≥500L/min）。2. 真空室：方形腔体，全部采用SUS304不锈钢制成，长×宽×高尺寸≥500mm×500mm×600mm；配备可替换防污板。3. 真空室包含两个可完全打开的门，前门为快开门，配有带挡板的观察窗；后门为推拉门，可与手套箱连接；真空室与手套箱连接可依手套箱预留尺寸定制；观察窗和挡板为非固定式，可更换。4. 腔体极限真空度为≤3×10-5Pa，在氮气环境下开门重新抽真空可在15分钟内达到≤2×10-4Pa。5. 基片装置：旋转基片架，基片最大尺寸为(长×宽)156mm×156mm（可向下兼容）。6. 蒸镀均匀度优于±1%（以铝为标准，厚度为 30Å）。7. 蒸发源：不少于6个，采用水冷电极，蒸发舟尺寸80-90mm，配备独立防污罩。8. 束源炉式有机蒸发源不少于2个，控制电源不少于1套，控温表控温，温度上限≥800°C，控温精度±1°C。9. 电极式金属蒸发源不少于4个，控制电源不少于2套，电源功率≥2kw，最大电流≥80A，控制电流精度±0.5A。10. 水冷探头数量不少于3个。11. 包含独立控制系统软件，用于执行设备的所有操作包括：机械泵、分子泵、阀门开关；基片台旋转；基片总挡板开关；蒸发源挡板的开关；有机蒸发源和金属蒸发源的蒸镀控制和速率控制等。12. 控制系统程序可编辑，实现依设定程序的自动蒸镀。13. 一体式设备，占地面积长×宽×高≤1200mm×850mm×1800mm。1套合计（元）以上报价含货物及其附件的设计、采购、制造、检测、试验、运输、保险、仓储、税费以及现场落地、安装及安装耗损、调试、验收、培训、技术服务（包括技术资料、图纸的提供）、试验场地、测试报告等质保期内的售后服务保障等所有费用。供货期：付款方式：质保期：单位名称（加盖公章）：报价时间：联系电话：联系人：通讯地址：我方（供应商名称）全面研究了（项目名称）项目采购公告（项目编号：），决定参加你院组织的本项目综合比价。北航合肥创新研究院：响应函年月日供应商名称（须加盖单位公章）：