MEMS微动力技术研究(XJ024012300427)

基本信息 发布单位:华东光电集成器件研究所最终单位:华东光电集成器件研究所参与方式:公开询价出价方式:一次性出价付款方式:保证金:0.0元联系人:刘阳联系方式:13084086982MEMS微动力技术要求2023-12-26.docx 采购明细 序号 商品名称 品类 采购数量 最少响应量 1MEMS微动力技术研究服务类1.0项1.0项 可报价时间 开始时间 2024-01-25 15:38:00结束时间 2024-01-30 10:00:00备注：报价地址： https://newtd.norincogroup-ebuy.com/inquiryweb/indexMEMS微动力芯片研制技术要求1.工作任务乙方负责指导甲方开展项目技术方案制定和实施，配合甲方完成项目所需相关报告和测试、结题验收等工作。乙方负责开展MEMS能力收集器、电磁式MEMS微直线电机和旋转点击的设计及性能测试，配合甲方完成样机的制造。2.交付周期及指标要求1.合同签订后2个月内，完成MEMS微动力芯片的设计、仿真，并提供交付物及相关报告。2.乙方于2024年3月30日前，配合甲方完成流片方案制定；乙方于2024年10月30日前，配合甲方完成MEMS微动力芯片的研制，完成样品性能测试，并提供交付物及相关报告。基于MEMS三维电感的电磁式电动机指标：直线电机样机重量≤200mg,直线电机尺寸≤3mm×3mm×3mm,运动行程≥1mm，最大输出推力≥10mN；旋转电机重量≤5g，旋转电机尺寸≤20mm×20mm×3mm，额定转速≥1000rpm，额定输出功率≥10mW,额定输出扭矩≥3μNm。基于MEMS三维电感的振动能量收集器指标：核心部件所占芯片面积≤4cm2，输出功率≥10μW，半功率带宽≥10Hz。3.乙方于2025年10月30日前，配合甲方基于MEMS微动力芯片完成微型机器人样机的试制及测试，并提供交付物及相关报告。